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1、應(yīng)用背景半導(dǎo)體芯片行業(yè)是金屬濺射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一，也是對靶材的成分、組織和性能要求最高的領(lǐng)域。具體地，半導(dǎo)體芯片的制作過程可分為硅片制造、晶圓制造和芯片封...

近年來，微電子行業(yè)和新材料發(fā)展迅猛，各種性被廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)和工業(yè)領(lǐng)域，促使了靶材產(chǎn)業(yè)日益擴(kuò)大。如今，靶材已發(fā)展成為一個專業(yè)化產(chǎn)業(yè)。濺射法是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一...

引言隨著大規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體芯片制造技術(shù)的飛速發(fā)展，集成電路單位面積上可容納的晶體管數(shù)量成倍增加，芯片制程不斷縮小。在電路變得更窄的同時，電流密度將更大，半導(dǎo)體芯片中...

引言隨著全球科技的革新突破和人口數(shù)量的指數(shù)增長,傳統(tǒng)陸地資源供給體系已逼近承載閾值。基于資源戰(zhàn)略安全與可持續(xù)發(fā)展的考量，海洋資源開發(fā)已成為緩解資源供需矛盾的關(guān)鍵路...

TC4鈦合金以其優(yōu)異的綜合性能在航空航天、生物醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛[1~3]。然而，其傳統(tǒng)加工(如鍛造、切削)存在難度大、成本高等問題。而增材制造技術(shù)為鈦合金的成形提供了新途...

序言鈦及鈦合金因其低密度、高比強(qiáng)度與比剛度、良好的耐腐蝕性能、優(yōu)異的低溫韌性、抗疲勞與蠕變能力，以及無毒、無磁等一系列綜合優(yōu)勢，自20世紀(jì)中期起，逐漸成為航空工業(yè)中不可...

引言隨著全球安全戰(zhàn)略的發(fā)展，高聲速飛行器已成為軍事競爭的焦點 [1-2]?高聲速飛行器在未來軍事和民用領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，包括快速全球打擊?航天飛機(jī)?空間運(yùn)輸系統(tǒng)等?這些飛行...

引言隨著全球安全戰(zhàn)略的發(fā)展，高聲速飛行器已成為軍事競爭的焦點 [1-2]?高聲速飛行器在未來軍事和民用領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，包括快速全球打擊?航天飛機(jī)?空間運(yùn)輸系統(tǒng)等?這些飛行...

引言2015 年，美國航空航天局 (NASA) 發(fā)布了《2015 航空航天技術(shù)路線圖》, 該文件探討了美國 2015-2035 年航空航天發(fā)展所需的關(guān)鍵技術(shù)及實施路徑，其中，重點提到發(fā)射與推進(jìn)系統(tǒng)，...

鈦合金具有高強(qiáng)度?低密度?耐腐蝕及良好的疲勞性能等綜合優(yōu)異性能，已被廣泛應(yīng)用于航空航天等高端裝備?例如，在美國 F–22 第四代主力戰(zhàn)機(jī)中，鈦合金的質(zhì)量占比為 41%[1–3]?Ti–6Al–...

在現(xiàn)代工業(yè)中，銅合金應(yīng)用廣泛。鉻鋯銅合金由于導(dǎo)電導(dǎo)熱性能良好，具有高的強(qiáng)度和好的耐磨性,可作為電阻焊電極和結(jié)晶器等材料。在汽車、機(jī)車、造船、電力及航空等行業(yè)得到廣泛...

引言第二代高溫超導(dǎo)帶材為多層薄膜結(jié)構(gòu)，由哈氏合金基帶、種子層、隔離層、帽子層(模板層)、超導(dǎo)層和保護(hù)層組成。目前已知的較為成熟的制備稀土鋇銅氧化物(ReBCO)帶材的方法...

鈦及鈦合金具有低熱導(dǎo)率、低膨脹系數(shù)、高韌性以及耐低溫等優(yōu)點，在低溫發(fā)動機(jī)、低溫超導(dǎo)零部件、海洋工程、 航空發(fā)動機(jī)等領(lǐng)域均有大量應(yīng)用[1-2]。TC11鈦合金作為一種十分典型...

薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)是當(dāng)前的主流平面顯示技術(shù)，而金屬濺射靶材是制造TFT-LCD過程中最關(guān)鍵的材料之一。薄膜晶體管陣列的制作原理，是在真空條件下，利用離子束流去轟...

濺射是一種薄膜材料制備技術(shù)，主要利用高能離子在真空中加速聚集形成高能離子束流轟擊固體，使固體表面原子逸出、沉積在基底表面，制成的膜材料稱作濺射靶材[1-2]。濺射技術(shù)源于1...

引言磁控濺射靶材(簡稱濺射靶材)是物理氣相沉積(PVD)技術(shù)應(yīng)用中的關(guān)鍵源材料，通過荷能粒子轟擊濺射靶材，可使靶材表面原子或分子逸出并在基片表面沉積形成功能性薄膜。高端濺...

引言半導(dǎo)體芯片制造用金屬靶材主要用于在基底材料表面沉積金屬薄膜。在大規(guī)模集成電路互連工藝中，高純銅材料因其低電阻率、優(yōu)異的導(dǎo)熱性能及良好的抗電遷移和抗應(yīng)力遷移特性...

引言航空發(fā)動機(jī)壓氣機(jī)葉片性能直接影響發(fā)動機(jī)整體可靠性。鈦合金憑借比強(qiáng)度高、耐腐蝕性強(qiáng)、熱穩(wěn)定性好等特點成為理想葉片材料。由于發(fā)動機(jī)向大推重比、長壽命方向發(fā)展，對葉...

引言隨著現(xiàn)代工業(yè)對輕量化、高性能材料需求的持續(xù)增長，鈦合金因其優(yōu)異的比強(qiáng)度、耐腐蝕性及高溫穩(wěn)定性，已成為航空航天、能源裝備、生物醫(yī)療等領(lǐng)域的核心材料之一。其中，TC4(Ti...

引言鈦合金具有比強(qiáng)度高、高低溫性能好、耐腐蝕、環(huán)境相容性好、以及形狀記憶和儲氫等優(yōu)良特性[1]，是航空、航天、船舶、核電、醫(yī)療等領(lǐng)域極為重視的先進(jìn)材料[2]。特別是隨著...

引言激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)技術(shù)，作為近年來備受矚目的元素分析方法，即將短脈沖激光聚焦于樣品表面，以實現(xiàn)樣品材料表面擊穿和等離子體生成。通過捕獲等離子體的輻射光譜，基于一...

引言高溫機(jī)械強(qiáng)度是指材料在高溫環(huán)境下承受外力作用時，保持其結(jié)構(gòu)完整性和功能穩(wěn)定性的能力，是保障高溫裝備長期安全運(yùn)行的科學(xué)基石，目前亦已成為機(jī)械強(qiáng)度學(xué)的重要分支。作為貫...

粒子加速器是人類探索微觀物質(zhì)結(jié)構(gòu)的重要工具，也是支撐國民經(jīng)濟(jì)與科技發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)施[1,2].相較于體型龐大、成本高昂的傳統(tǒng)加速器，超短超強(qiáng)激光與物質(zhì)相互作用能夠產(chǎn)生超過10...

引言鈦合金材料具有比強(qiáng)度高、耐高溫、耐腐蝕等特點，被廣泛應(yīng)用于航空航天、軍工及醫(yī)療器械等行業(yè)[1],但由于鈦合金的熱導(dǎo)率低、彈性模量小等特點，導(dǎo)致鈦合金成為典型難加工材...

引言非對稱外雙溝形環(huán)件是一種外表面帶有特殊截面輪廓的異形截面環(huán)件，在航空航天、能源、汽車等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用[1-3]，如運(yùn)載火箭推進(jìn)劑貯箱的過渡環(huán)、發(fā)動機(jī)機(jī)匣等關(guān)鍵部件...

引言點式鍛壓激光成型工藝具有成型過程靈活、適用范圍廣、生產(chǎn)成本低等方面的特點，能夠有效克服鈦合金在傳統(tǒng)成型工藝下普遍存在的柱狀晶粗大、力學(xué)性能不足等問題。苗廣輝等...

1、引言鋁合金由于其低密度、易加工的特性，現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于汽車、航空航天等領(lǐng)域進(jìn)行輕量化設(shè)計[1-2]，但由于鋁合金的強(qiáng)度相對較低，其作為結(jié)構(gòu)材料在一些極端服役環(huán)境下大量使...

1、引言TC11鈦合金作為一種新型輕質(zhì)金屬材料,憑借著密度低、比強(qiáng)度高、耐蝕性出色、熱穩(wěn)定性卓越以及疲勞強(qiáng)度高等一系列突出優(yōu)勢，在航空航天、軌道交通、船舶工業(yè)乃至醫(yī)療等...

作為一種α+β相耐熱鈦合金，鈦合金TC11具有高強(qiáng)度、超強(qiáng)耐腐蝕性、優(yōu)異的抗蠕變性和較好的熱穩(wěn)定性，被廣泛應(yīng)用于航空發(fā)動機(jī)渦輪盤、葉片等重要構(gòu)件。在鈦合金切削過程中切削...

近年來，隨著科學(xué)技術(shù)不斷發(fā)展和進(jìn)步，鈦及鈦合金棒絲材在航天航空?軍工?醫(yī)療等重要領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，產(chǎn)品要求各項性能指標(biāo)滿足標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)要求的同時，大單重盤卷絲材作為在高端領(lǐng)域的...